Automatizovaná optická kontrola v elektrotechnike a polovodičovom priemysle | ATEsystem
Objavte, ako automatizovaná optická kontrola (AOI) zvyšuje kvalitu a efektivitu výroby v elektrotechnike a polovodičovom priemysle. Presnosť, rýchlosť a spoľahlivosť v jednom riešení – prehľad najmodernejších technológií AOI od ATEsystem.
Cieľ projektov
Vyvinúť a implementovať pokročilé systémy pre optickú kontrolu, predikciu porúch a presné osadzovanie v jednotlivých kľúčových krokoch výroby polovodičových dosiek – od litografie až po finálnu kontrolu SMD komponentov. Dôraz bol kladený na vysokú presnosť, prispôsobenie sa náročným svetelným podmienkam a využitie neurónových sietí na automatizované rozhodovanie o kvalite testovaných kusov.
Kontrola oxidov na kremíkových doskách
Riešenie:
Použitie vysoko presnej farebnej kamery s difúznym osvetlením, ktorá deteguje farebné odrazy na povrchu waferu. Farebný odtieň indikuje hrúbku a typ oxidu.
Výsledok:
Systém umožňuje triedenie waferov na základe optických vlastností (farby oxidov), čím sa zvyšuje výťažnosť a znižuje potreba ručnej vizuálnej kontroly.

Obr. č. 1: Snímka waferu s farebnými odrazmi
Predikcia rozlomenia waferov počas lapovania
Riešenie:
Inštalácia systému so 4 kamerami a neurónovou sieťou, ktorá sleduje správanie waferov v čase. Nasadenie systému je umožnené vďaka big data analýze dát zhromažďovaných počas jedného roka.
Výsledok:
Predikčný algoritmus identifikuje riziko rozlomenia až o 1 minútu skôr ako tradičný systém založený na vibráciách stroja, čo výrazne šetrí náklady.

Obr. č. 2: Graf štatistického priebehu rozlomenia v čase
Kontrola osadenia waferu v litografii
Výzva:
-
Tolerancia uloženia pod 0,1 mm
-
Nutnosť eliminovať modrú zložku svetla → použitie infračerveného osvetlenia
-
Rôznorodosť povrchov waferov (lesklé, tmavé, zrkadlové)
-
Rôznorodosť opracovania hrán waferov
-
Nemožnosť priameho pohľadu → šikmý uhol snímania
Riešenie:
Použitie subpixelovej analýzy a matematických korekcií na zvýšenie presnosti.
Výsledok:
Zabezpečená vysoká presnosť detekcie pozície waferu aj za extrémnych podmienok v čistých priestoroch výroby.

Obr. č. 3: Osadená doska na unášači
Kontrola spájkovania polovodičových termistorov
Riešenie:
Kompletný stroj na vizuálnu kontrolu kvality spájkovania a finálneho zalievania. Manipulácia bola sťažená kvôli podávaniu v papierovom blistri.
Výsledok:
Zabezpečená automatizovaná kontrola spájkovaných spojov bez potreby ľudského zásahu.

Obr. č. 4: Používateľské rozhranie s nastavením parametrov spájkovania
RTS12G – kontrola SMD súčiastok zo 6 strán
Riešenie:
Zariadenie RTS12G umožňuje kompletnú optickú kontrolu zo 6 strán pri takte 5 ks/s, s možnosťou použitia polarizovaného svetla. Neurónová sieť spracováva až 300 modelov za sekundu.
Výsledok:
Zabezpečená kompletná a rýchla kontrola tvaru, farby, značenia a prípadných defektov súčiastok.

Obr. č. 5: Detail vnútorného systému RTS12G
Zhrnutie prínosov:
-
Zvýšenie presnosti a spoľahlivosti v rôznych fázach výroby
-
Prediktívna diagnostika minimalizujúca straty
-
Nasadenie neurónových sietí pre adaptívnu kontrolu
-
Riešenia šité na mieru náročným podmienkam (optické odlesky, infračervené svetlo, šikmé snímanie)
Zaujal vás niektorý z našich projektov? Ozvite sa nám – dokážeme pripraviť individuálnu štúdiu aj funkčný návrh riešenia na mieru. Pomáhame firmám naprieč odvetviami efektívne využiť možnosti strojového videnia. Kontaktujte nás na kamery@atesystem.cz ešte dnes a spoločne nájdeme ideálne riešenie práve pre vás.

ATEsystem s.r.o.
Technologická 378/9
708 00 Ostrava-Pustkovec
tel.: + 420 595 172 720
Za Daily Automation zverejnil: Kristián Štedrák